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基于波纹银振膜的珀罗传声器详细论文免费下载
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2019-08-07
别闹我在打怪兽
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提出了一种由非本征法布里-珀罗干涉结构构成的波纹银膜光纤传声器。在波纹的作用下，通过释放膜片的初始应力，提高了传感器的灵敏度。提出了一种简单的“灰度曝光”方法来制作波纹。实验结果表明，制备的波纹膜（CD）的机械灵敏度为52nm/pa，是相同参数下平面膜的两倍。并对所制备的传声器的其他特性进行了详细的测试。该方法具有灵敏度高、简单、成本低等优点，有望在弱声传感领域得到应用。
光纤传声器（OFM）通常采用基于振膜的非本征法布里-珀罗干涉测量（EFPI）结构，以其分辨率高、重量轻、体积小等优点，在声学测量中受到越来越多的关注。］当受到入射声作用时，振膜会振动并调节OFM F-P腔的长度。作为OFM的基石，需要高机械和光学质量的振动膜来确定传感器的性能。到目前为止，已经使用了几种弹性材料来感应中的压力。硅是Nd硅是最早采用的振动膜材料，但用常规的微机械加工方法很难制备厚度小于1μm的大薄膜，近年来对二维层状材料进行了研究。
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