半导体气敏传感器的分类和工作原理

MEMS/传感技术

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  半导体气敏传感器的分类

  半导体气敏传感器是利用半导体气敏元件同气体接触后,造成半导体性质的变化来检测特定气体的成分或者测量其浓度。

  半导体气敏传感器分为电阻式和非电阻式两类。

  半导体气敏传感器的工作原理

  电阻式半导体气敏倍感器是利用气敏半导体材料,如氧化锡(SnO2)、氧化锰(MnO2)等金用氧化物制成敏感元件,当它们吸收了可燃气体的烟雾,如氢、一氧化碳、烷、醚、醉、苯以及天然气等时,会发生还原反应,放出热量,使元件温度相应增高,电阻发生变化。

  利用半导体材料的这种待性,将气体的成分和浓度变换成电信号,进行监测和报警。

  半导体

  上图为典型气敏元件的阻值—浓度关系。

  元件对不同气体的敏感程度不同,如对乙酸、乙酵、氢气等具有较高的灵敏度,而对甲烷的灵敏度较低。

  一般地,随着气体的浓度增加元件阻值明显增大,在一定范围内,呈线性关系。

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