变形镜是自适应光学系统中常见的一种波前校正器

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压电变形镜的主要应用为自适应光学,变形镜是自适应光学系统中最常见的一种波前校正器,其性能直接影响自适应光学系统的校正能力。

基于压电驱动的变形镜,对光束方向的超快调整控制,来补偿激光在大气传输时受到湍流等影响,使激光以最佳方式聚焦到目标上。因其具有快速响应、高分辨率、大变形量、低驱动电压、低成本、轻量化等优点而被广泛应用。

P32系列Z向/俯仰/偏转镜提供两轴的高速精密偏转运动及Z轴直线升降运动,直线运动的分辨率可达亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧度,响应时间可达毫秒量级。P32系列压电偏转镜体积小巧、结构紧凑,可达6mrad偏转范围,Z轴37.5μm的直线运动范围。

高分辨率 高动态性

P32压电偏转镜体积紧凑,内部装配带有预紧的高可靠性压电促动器,集成在复杂的、FEA建模分析的柔性铰链导向系统。压电促动器是叠堆共烧型压电陶瓷,比传统的压电促动器提供更好的性能及可靠性。

P32压电偏转镜采用基于平行运动学的压电陶瓷直驱式三脚架结构,数十亿次的运动周期操作而没有故障或性能下降,非常适合工业应用。

三脚架结构设计在较大的温度范围内提供较优化的角度稳定性。这种设计具有体积更小巧、两轴具有相同的运动范围及动态性能、更快的响应速度及更好的线性度等优势,也防止了偏振旋转。

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