如何去分析BAW谐振器？

BAW谐振器基础

如何去分析BAW谐振器？？

一定要掌握 BAW 的这些参数

前几天看到一个朋友所在的公司已经获得了超过一亿的融资，对于很多数字芯片来说，一个亿可能烧不了多长时间，但是对于芯片滤波器这个门类来说，一个亿可以支撑公司能够开发更多的产品。芯片滤波器这个行业，未来依然光明。

接着学习！

在文章开始之前呢？大家一起回顾一下 BAW 谐振器

① BAW谐振器的基本结构 ：FBAR， BAW-SMR 等 ② BAW谐振器的常用分析模型：BVD/ mBVD,  Mosen, FEM  等 ③ BAW 谐振器的关键参数： 谐振频率 fs/ fp， 品质因数 Q0， 有效机电耦合系数 Keff 等。

通过之前文章的学习，相信同学们对体声波BAW谐振器有了初步的认识。声波谐振器不同于我们之前所设计的射频/微波谐振器，它里面谐振着的不是电磁波，而是声波（机械波）。电磁波是纯粹的横波，声波却不是，除了横波还有纵波，剪切波。所以对声波的分析更为复杂一些，声波的变化会引起能量的损耗，在BAW谐振器里面，纵波是我们所需要的工作模式，所以横波和剪切波都会引入损耗。

机械波示意图

但是射频电路里面，如何将电磁波和声波联系起来呢？这个要感谢神奇的压电材料，我们通过压电材料的压电效应/逆压电效应把电磁波和声波联系了起来。电磁波的电压变化通过压电效应引起压电材料的机械变化，压电材料的机械变化通过逆压电效应转化为电磁波的电压变化。这样，BAW谐振器中的声波振荡就和我们的电磁波联系起来了。

编辑：黄飞