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基于MS3110电容读取芯片的MEMS加速度计

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小:656 KB | 2011-07-16

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介绍了通用电容读取芯片MS3110 的内部结构、基本原理及其使用方法，提出了采用单片机实现片内EEPROM 编程的方法，并给出了读写控制框图。以梳齿式硅微传感器为敏感元件，采用滞后比例积分调节器，基于MS3110 通用电容读取芯片设计了一种MEMS 力平衡闭环加速度计。实验结果表明：设计的MEMS 加速度计能够闭环正常工作并取得了一定的性能。
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