三维光学轮廓仪测粗糙度

SuperViewW1系列三维光学轮廓仪测粗糙度采用经国家计量检测研究院校准的台阶高标准片作为测量标准件，采用该标准片对仪器的检测精度和重复性进行验收，其中台阶高标准片高度在4.7um左右，测量精度要求为<0.75%，重复精度要求<0.1%（1σ）（测量15次获取的数据标准差）。其扫描模块和内部抗振设计，可实现高0.05%的测量精度重复性和0.002nm的粗糙度RMS重复性，诠释始终如一的测量品质。

 

曲率半径和表面粗糙度检测

 

蓝宝石玻璃的光面和糙面的粗糙度

 

薄膜粗糙度测量

 

硅片表面粗糙度测量

 

SuperViewW1系列三维光学轮廓仪测粗糙度提供1100单镜头手动版和1200多镜头自动版两种机型，另可针对不同的客户需求，在两种型号间选取不同配置进行组合，让仪器切合客户需求，贴心省力。

 

产品参数

产品型号：SuperView W1-Pro

产品名称：光学3D表面轮廓仪

影像系统：1024×1024

干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）

Z轴行程：100mm，电动

Z向扫描范围：10mm

Z向分辨率：0.1nm

水平调整：±5°手动

粗糙度RMS重复性：0.005nm

台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ

主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高

生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

注释：更多详细产品信息，请联系我们获取