10.4.4 定向自组装光刻技术(DSA)∈《集成电路产业全书》

描述

 

Directed Self-assembly Lithography(DSA)

审稿人:北京大学    蔡一茂  杨远程

https://www.pku.edu.cn

审稿人:北京大学    张兴  

10.3 集成电路新材料

第10章 集成电路基础研究与前沿技术发展

《集成电路产业全书》下册

DSA

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