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GaN基蓝光半导体激光器的发展

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小:0.34 MB | 2023-10-31

康大争

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摘要：文章介绍了下一代光存储用半导体激光器——GaN蓝光激光器的发展状况.对衬底材料的发展现状、外延片的生长技术以及激光器的制作工艺都作了论述.阐明了GaN激光器的一些技术路线，如GaN同质生长衬底的发展，侧向外延生长技术的采用以及湿法腐蚀腔面等.另外还介绍了GaN半导体激光器数字多功能光盘（DVD)的实用化进程.
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