白光干涉仪和激光共聚焦显微镜哪个好？

白光干涉仪和激光共聚焦显微镜两者同为微纳米级表面光学分析仪器，但是侧重点不同，哪个好这个问题还是要根据具体测量需求来看。如果用一个字眼来形容，那么白光干涉仪是“文”，而共聚焦显微镜是“武”。白光擅长亚纳米级超光滑表面的检测，追求检测数值的准确；而共聚焦擅长微纳级粗糙轮廓的检测，虽在检测分辨率上略逊，但能够提供色彩斑斓的真彩图像便于观察。

 

白光干涉仪和激光共聚焦显微镜都具有非接触式、高速度测量、高稳定性的特点，都有表征微观形貌的轮廓尺寸测量功能，适用范围广，可测多种类型样品的表面微细结构。但是白光多用于测量大范围光滑的样品，尤其擅长亚纳米级超光滑表面的检测，追求检测数值的准确；而共聚焦更容易测陡峭边缘，擅长微纳级粗糙轮廓的检测，虽在检测分辨率上略逊，但成像图色彩斑斓，便于观察。

 

1、SuperViewW1白光干涉仪

白光干涉仪也叫光学3D表面轮廓仪。它是以白光干涉技术原理，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌，专用于精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸的非接触式快速测量。

 

2、激光共聚焦显微镜

VT6000激光共聚焦显微镜以转盘共聚焦光学系统为基础，结合高稳定性结构设计和3D重建算法共同组成测量系统，能用于各种精密器件及材料表面的非接触式微纳米测量。能测量表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。