数字后端先进工艺知识科普

DPT Double Patterning Technology。double pattern就是先进工艺下底层金属/poly加工制造的一种技术，先进工艺下，如果用DUV，光的波长已经无法直接刻出很小的尺寸了（宽度或者间距），所以可以用两层甚至更多层mask来制造一层金属，如下图所示，所以可以看到版图中有红色和绿色（但看一种颜色，它们的间距光刻是可以加工的）。工艺有LELE（光刻 刻蚀 光刻 刻蚀）、LFLE（光刻 freeze 光刻 刻蚀）、SADP（自对准double patterning），以后有空也会专门介绍一下这些工艺。

FinFET是什么？请简要画出FinFET的三维结构，并解释FinFET技术有什么优缺点以及相应的原因。

参考答案：

FinFET全称Fin Field-Effect Transistor，中文名叫鳍式场效应晶体管，与平面工艺最大的不同之处是：平面工艺有效沟道只有栅下面的一段，而FinFET则是把栅立了起来，栅包围着沟道，沟道由1个面增大到了3个面，因此栅的控制能力更强了，漏电流会降低，另外MOS管的饱和电流会增大，因此Cell驱动能力会提升，器件速度更快。缺点是在小的面积下有更大的电流，热量不好散发出去，因此对散热的要求会更高。

与之类似，GAA则是FinFET结构的一个升级，由原来的3面的栅升级为了4面环栅，且可以堆叠多层，因此以上特性会得到进一步提升。

可以提出一个类似的问题：

请说出MOS结构有哪些种，它的演变路线以及GAA以及MBCFET的结构与特点

参考答案：

平面工艺到FinFET以及GAA的演变：

GAA(Gate-All-Around):

与前面的FinFET类似，GAA则是FinFET结构的一个升级，由原来的3面的栅升级为了4面环栅，且可以堆叠多层，因此以上特性会得到进一步提升。这种中间堆叠的是尺寸较小的纳米线Nanowire，这种需要堆叠的数量比较多，且加工难度相对比较大。

三星提出了另一种的GAA结构-MBCFET，它用纳米片取代了纳米线，因此加工会相对容易一点，且能得到类似的性能。

问题：

星主，请问有关cut metal的相关概念和常见drc问题能不能有些讲解，比如CM0的spacing问题如何修复，这一层是什么时候加上的，pr工具里看不到这些层但eco后版图里报了一些相关的错误，谢谢

参考答案：

不同时钟串在一个chain的时候中间要加lockup latch，因为不同时钟的latency不同，setup有充足的margin，而hold就很容易有问题了，加上lockup latch之后可以借半个周期的时间，对hold有利，一般加了之后就不会有timing问题了。

backend弟中弟 提问：星主您好，有几个面试问题请教您.

1.flip-chip 与 wirebond 的区别？我回答了下面几个，当时也就想到这几个了，您能补充一下吗？

1.RDL层的厚度不一样；flip-chip会更厚一点；这里追问了为什么？没回答上来.

2.Flip-chip通过RDL层将信号从IO连到core 的中的bump上，bump就是一块八变形的金属块；Wirebond封装是直接将pad放在IO上，封装的时候后从pad上打金线过去。

3.flip-chip的优点，有利于时序以及IR，一般用在比较规模比较大的芯片，追问多大算大？然后后面又问了，为什么这个项目用flip-chip的封装，我当时可能也没回答好？

2.后端中你认为比较有难度的环节是哪个环节，有时候还需要有一些创新的方法来解决问题的，为什么？我回答的是floorplan，但是好像不是面试官想要的答案。

谢谢啦。

星主你好！想请问一个面试的问题。

面试官：Finfet与传统cmos器件有什么区别（这个问题不用此处回答，能答上来）？他们在实际项目中有啥值得注意的地方，比如floorplan阶段？或者比如在DRC方面有何影响？会不会存在检查不到的情况？（这个没答上来。）他接着说你可以关注macro或者cell的user guide（太细了，这个没怎么关注过）。

亚稳态与两级reg解决亚稳态问题的原理以及synchronizer的verilog

标签：sync     后端知识    亚稳态

匿名用户 提问：星主，想问问您两个关于“打拍”的问题。

1.图里对sig打拍采样，我不解的是：第一拍是亚稳态，我本来是想采sig的高电平1，结果亚稳态最终稳定在0了，那后面打这一拍也没意义呀，把想要的信号都错过了…

2.图里的Verilog，要是想对frame打两拍去采样，应该咋改啊？

麻烦您了。

问题：

请问，新接触一个工艺，怎么看这个工艺是不是double pattern的呢？不是T的，也不是smic，不是GF，不是三星

标签：DPT    先进工艺

回答：看tf里面对应的layer后边的numMasks，如果有这个属性， 且值大于1就是dpt的，techLEF也是类似

匿名用户 提问：starRC抽取寄生参数时，需要导入std，memory，sub block的gds吗？怎么导入？如果不需要导入的话，看不到这些ip及block的金属层，抽取的rc准确吗

标签：StarRC软件教程

回复：

对于sub block，只用DEF就好了。

对于std cell, memory，项目早期对精度要求没有那么严格，或者GDS没有的情况下，可以用LEF DEF，在项目后期signoff的时候，需要指定GDS。没有GDS的话提取与真实情况会有一些偏差。

审核编辑：汤梓红