HiCube 80 Eco 分子泵组搭配低温阻抗测试仪应用

上海伯东代理德国 Pfeiffer 涡轮分子泵组 HiCube 80 Eco 成功应用于低温阻抗测试系统, 分析电子元器件在低温环境下电阻的变化.

HiCube 80 Eco 分子泵组搭配低温阻抗测试仪
上海伯东协助某科研用户搭建低温阻抗测试系统, 首先将待测试的电子元器件放置于密封腔体内, 腔体体积为 10L 左右, 在充入低温气体前, 需要把腔体真空度快速抽至  1x10-5 hPa, 并稳定在这个真空度保持 30min. 保证腔体的温度不变. 然后充入低温气体, 利用低温阻抗测试仪分析电子元器件在低温环境下电阻的变化.

经过计算, 真空部分推荐采用分子泵组 HiCube 80 Eco (集成前级泵和分子泵) 和全量程真空规 PKR 251, 整套”即插即用”, PKR 251 测量真空度,通过数据线连接到分子泵组, 在泵组显示器上直接显示当前真空度.
 

HiCube 80 Eco 分子泵组