什么是线刻蚀 干法线刻蚀的常见形貌介绍

在干法刻蚀工序中，通过调节机台的参数，可以得到不同形貌的刻蚀效果，文章总结了干法线刻蚀有哪些刻蚀效果。  

首先，明确一下什么是线刻蚀。刻蚀可以分为线刻蚀，孔刻蚀，沟槽刻蚀等。线刻蚀就是将膜层刻蚀成线的形状。

线刻蚀有如下形貌：

1. 垂直：在刻蚀过程中形成几乎完全垂直于晶圆表面的侧壁，是一种各向异性的刻蚀。刻蚀后的侧壁非常垂直，底部平坦。这是理想的刻蚀形态，它能够非常精确地复制掩膜上的图案。

 

  2. 锥形/反锥形：指的是刻蚀形成的侧壁不是完全垂直的，而是呈一定角度向外或向内倾斜，类似于一个锥形。  

  3. footing：指刻蚀剖面底部多出了一层材料，形成了一个“脚”的形状。  

  4. 底部侧蚀：指被刻蚀材料的底部边缘的部分被过分蚀刻掉的现象。  

  5. 颈缩：指的是在某些区域的蚀刻速率高于周围区域，导致该处材料更快地被移除，形成了颈缩的结构。可能是由于刻蚀剂的分布不均，掩模材料的影响等的影响造成的。  

审核编辑：黄飞