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微型激光干涉测振仪研究应用

消耗积分:0 | 格式:rar | 大小:0.14 MB | 2017-09-08

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　　激光干涉测振仪SP-S系列，是对物体位置或表面位置的瞬时变化进行精密、非接触测量的理想仪器，允许测量机械振动的频率范围为0-500kHz。该仪器是在SP系列微型平面镜干涉仪的成熟概念基础上设计出来的。SP-S系列干涉仪的传感测头装备有辅助光学元件，可以对任意粗糙度的表面进行测量。

 

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