资料下载
×
平面光波导器件的分类与平面光波导技术的介绍及其发展趋势分析
消耗积分:0 |
格式:rar |
大小:0.3 MB |
2017-09-30
分享资料个
平面光波导技术
平面光波导技术是在集成电路技术的基础上发展起来的，有其独特的地方。集成电路的基本元件是电阻、电容、电感和晶体管（二极管、三极管），集成电路技术是在硅衬底上通过薄膜沉积、扩散、外延、光刻、刻蚀、退火等工艺制作这些基本的元件，并且用导线互联。平面光波导的基本元件是激光器、光波导和探测器，所用衬底材料各异、如 InP、GaAs、SiO2、 LiNbO3 等，材料各异工艺也不尽相同。集成电路技术对所成薄膜的厚度、折射率和残余应力要求不甚严格，但对于平面光波导技术而言，厚度、折射率和残余应力则要求精细控制，否则不能实现光波信号的产生、控制、传输与探测。
平面光波导器件
平面光波导器件是采用平面光波导技术制造而成的器件，分为无源器件、有源器件以及有源/无源混合集成器件。
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。 举报投诉
评论(0)
发评论
- 相关下载
- 相关文章
