中国首条MEMS 8英寸线成功投入运营,中国MEMS产业的里程牌

　　MEMS（微机电系统），是在微电子技术上发展起来的，涉及微电子、材料、力学、化学、机械、物联网等诸多学科领域，是目前国际上发达国家大力发展的前沿技术。

　　近日，罕王微电子（辽宁）有限公司总裁黄向向女士、执行副总裁Douglas Sparks博士以及全球首席市场/营销总监Laura Kendall女士携罕王微电子展团，盛大亮相 “2017传感器与MEMS技术产业化国际研讨会暨科研成果产品展”与“中国国际纳米技术产业博览会（CHInano2017 Conference& Expo）”，Douglas Sparks博士在大会上做了主题发言。

　　

　　罕王微电子展台@中国国际纳米技术产业博览会

　　

　　罕王微电子执行副总裁Douglas Sparks博士

　　Douglas Sparks博士在发言中介绍，罕王微电子投资建设的中国首条也是唯一一条专注于MEMS的8英寸大规模产业化生产线已经成功投入运营。通过此前对Maxim（美信）公司MEMS传感器业务的收购，罕王微电子获得了美信所有相关的工艺技术、设备以及200多件专利，更为重要的是获得了美信在MEMS制造领域积累的20多年经验，这为罕王8英寸产线的成功投产规避了许多问题，争取了宝贵的时间。

　　

　　罕王微电子8英寸MEMS Fab

　　在谈及罕王微电子为什么对MEMS产业感兴趣，并且没有选择Fabless或Fab-lite的创业模式，而是初期就确定IDM模式并大力投入建设自己的8英寸产线，罕王微电子总裁黄向女士不无感概的说：“罕王作为一家拥有35年运营历史的国际矿业集团，在有资金实力支持的条件下，罕王创始人希望为国内的MEMS制造业做出自己的贡献，以投资回报这片故土；另外，随着以智能传感器为感知基石的智能手机、可穿戴、先进驾驶辅助系统（ADAS）及无人驾驶汽车、无人机等物联网应用市场的兴起，投资MEMS产业也是罕王集团转型升级的创新之路；我们这些拥有20多年MEMS产业经验的行业老兵，怀着一份爱国情怀，也希望能够助力国内MEMS产业的腾飞。”

　　“我们的8英寸MEMS产线是中国第一条也是唯一一条专注于MEMS的大规模产业化生产线，对于中国MEMS产业的发展具有重要的战略意义，”罕王微电子全球首席市场/营销总监Laura Kendall女士补充道，“它不仅能为国内的MEMS企业节约进出口税等额外成本，更重要的是提供了完全本地化的服务，为国内MEMS企业带来了世界最先进的MEMS制造技术和行业经验，大大缩短了产品交付时间；同时，我们也在大举招募国内MEMS人才，为国内MEMS产业培养一批制造精英。”

　　目前，这条8英寸产线的产能已经达到10000片晶圆/月，在未来的产能规划方面，这条产线在满足罕王微电子的产能需求的基础上，还将对外提供代工服务。得益于遍布全球的市场资源，罕王微电子为国内的MEMS初创企业提出了一种“代工+市场”的全新服务模式。MEMS初创企业可以仅专注于MEMS设计开发，器件的制造及未来的市场开拓可以由罕王提供一站式服务。

　　罕王微电子目前的主要产品包括汽车、消费电子、无人机惯性导航应用的HKE21000系列6轴惯性测量单元。其6轴惯性测量单元凭借无与伦比的精度和可靠性，在要求极其严苛的F1（一级方程式赛车）赛场，赢得了国际顶尖赛车制造商的青睐。而在无人机惯导领域的市场占有率更是已经达到了90%。

　　全球化的罕王微电子未来将针对消费电子、无人机等物联网应用推出集成MCU（微控制器）的智能6轴惯性测量单元。随着自动驾驶汽车和ADAS系统的发展，以及各国政府对新车评价规程（N-CAP）的日趋严格，各种汽车主被动安全应用逐渐成为标配，罕王微电子将针对这些汽车安全应用推出低噪音、低延时的新款HKE31000系列和HKE33000系列高性能惯性测量单元。

　　Douglas Sparks博士简介

　　Douglas Sparks博士拥有美国普渡大学（Purdue University）材料科学和工程博士学位，发表过100余篇科技论文，并拥有47件美国专利。Douglas Sparks博士在美国、日本和欧洲的汽车、医疗和工业应用领域从事MEMS工作20余年。自2011年起加入罕王微电子，任执行副总裁。在加入罕王之前，Douglas Sparks博士曾历任NanoGetters公司创始人兼总裁，Integrated Sensing Systems公司执行副总裁，负责公司微流控产品线。他还在Delphi Automotive System公司（德尔福汽车系统）和Delco Electronics公司（德科电子）从事过MEMS、晶圆制造和IC开发工作。