基于高可靠性的压力传感器设计

未知 2018-02-09 11:45:13 0评

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  压力传感器广泛应用于各种现代工业生产中,对于在机车、冶金、石油化工、动力机械、航空航天等工程领域应用的传感器来讲,研究高可靠性及耐高温的压力传感器具有重要的实际意义。例如航空发动机进出口油压测量,发动机燃烧室气体压力测量、汽车发动机用机油压力测量、增压热燃气喷口压力测量时,一旦传感器失效或者泄漏,不仅会造成测量输出异常,甚至会造成人员伤亡。目前,工业上常见的压力传感器芯片为扩散硅原理,压敏电阻和衬底通过PN结电隔离,当工作温度超过120℃时硅材料本征激发PN结会反向导电,所以不能在高于120℃的环境下进行压力测量,传感器敏感元件的安装结构通常为O型密封圈“悬浮”结构,存在泄露隐患。针对某工程领域实际需求,提出了一种高可靠性压力传感器的设计方法,传感器芯片采用( silicon-orrinsulator,SOI)原理,具有优良的高温性能,敏感元件通过电子束焊接8连接,输出信号还还将进行温度补偿。最后经过环境试验证明,该产品的的可靠性和性能指标可以满足工程要求。

基于高可靠性的压力传感器设计

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