长江存储迎来第一台光刻机 力争2019年实现规模量产

近日消息，长江存储从荷兰阿斯麦（ASML）公司订购的一台光刻机（非EUV光刻机）已抵达武汉。这台光刻机价值高达7200万美元，约合人民币4.6亿元。

此外，中芯国际中芯国际也向阿斯麦下单了一台价值高达1.2亿美元的EUV（极紫外线）光刻机，1.2亿美元！中芯国际下单ASML EUV光刻机。这台机器预计将于2019年初交货。

荷兰当地媒体《埃因霍温经济报》也证实了上述消息。

 

从飞利浦独立出来的阿斯麦公司在高端光刻机领域占据了全球90%的市场份额。光刻机（又称曝光机）是生产大规模集成电路的核心设备，对芯片工艺有着决定性的影响。

如今，中国两家企业先后订购了两台高端光刻机，总价值约12.3亿元人民币。阿斯麦ASML公司从行动上否认有媒体关于“高端光刻机对中国大陆禁运”的传闻，强调对中国大陆客户一视同仁。

 

此外，阿斯麦公司接受中芯国际订单的时间点是在今年4月中兴通讯遭遇美国制裁之后。

长江存储迎来第一台光刻机

2016年，紫光集团与国家集成电路产业投资基金、湖北科投等合资成立了长江存储，注册资本额为人民币386亿元。长江存储公司是中国高端芯片联盟发起单位之一，被寄望推动中国半导体产业自主研发。

 

 

长江存储官网宣传片截图

据报道，长江存储订购的这台光刻机采用193nm沉浸式设计，可生产20-14nm工艺的3D NAND闪存晶圆，售价达7200万美元，约合人民币4.6亿元。

目前，该机已经运抵武汉天河机场，相关入境手续办理完毕后，即可运至长江存储的工厂。

根据官网资料，2016年底，国家存储器基地项目（一期）一号生产和动力厂房在武汉正式开工建设，2017年9月底提前封顶，2018年4月5日首批价值400万美元的精密仪器进场安装。

 

国家存储器基地项目芯片生产机安装仪式

目前，长江存储拥有完全自主知识产权的32层堆叠3D NAND闪存已经开始试产，不少产业链企业都拿到了样片测试，预计今年第四季度量产。同时，长江存储还在推进64层堆叠3D闪存，力争2019年底实现规模量产，将与世界领先水平差距缩短到2年之内。