什么是弹性敏感元件,有什么作用?

MEMS/传感技术

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描述

弹性敏感元件是传感器的核心部件,要求弹性元件弹性储能高,通常表示为弹性材料储存变形功而不发生永久变形的能力。压力传感器具有良好的机械加工和热处理性能,具有较强的抗压强度。受温度影响小等特性,正确选择弹性敏感原件及应变计桥路是提高应变式传感器的重要途径:


 


       1、测量范围光精度高,测力传感器可测0.01--1000000N的力,精度可达到0.05%FS以上;压力传感器可测0.1-1000000的压力,精度可达到0.1%FS。

2、性能稳定可靠,使用寿命长,如称重式机械杠杆称,由于杠杆、刀口等部分互相摩擦产生损耗和变形,欲长期保持其精度是相当困难的,采用电阻应变式称重传感器制成的电子泵、汽车衡、轨道衡等,能在恶劣的环境条件下长期稳定工作。

3、频率响应特性极好。压力传感器一般电阻应变计响应时间为0.01MS,半导体应变计可达到0.001MS如能在弹性原件上采取措施则由他们构成的应变式传感器可测几十千赫甚至上百千赫的动态过程。

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