8英寸MEMS后端生产线在辽宁省建成投产

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2月21日,辽宁省沈抚新区管委会对外公布,由罕王微电子(辽宁)有限公司投资研发建造的国内首条具备国际领先水平的8英寸MEMS后端生产线在新区内建成投产,填补了国内行业空白。这也将促进省沈抚新区在传感器、物联网产业领域开疆拓土,助推全省战略性新兴产业迈向高质量发展。

MEMS全称Micro Electromechanical System,即微机电系统,是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。当前全球MEMS芯片市场规模快速增长,年复合增长率在两位数以上。中国作为全球最大的MEMS芯片消费市场,市场供不应求,2017年中国市场规模约400亿元人民币,预计2023年将增长至1000亿元人民币以上。

罕王微电子拥有强大的国际技术团队、众多MEMS核心专利和丰富的工艺生产经验,掌握高科技产品MEMS器件的核心芯片设计和制造的关键技术,可提供全品类MEMS芯片生产所需的工艺能力,填补了国内8英寸规模化量产制造能力空白。此次投产后,当月可产出1万颗MEMS芯片,次月可产出100万颗,预计全年生产2000万颗,实现2亿元销售额。在后端工艺平稳运营的基础上,前端工艺计划年内投产,全面实现8英寸MEMS芯片设计和规模化量产,将创造120亿元的年产值,预计年新增利税65亿元。

辽宁省沈抚新区管委会相关负责人表示,人工智能是新区的主导产业之一,罕王微电子是新区重点扶持的产业项目。新区将一如既往地支持企业发展,并进一步在域内延伸完善人工智能上下游产业链,打造集成电路产业集群,建设北方“传感谷”,为提升我国智能传感器产业的核心竞争力作出积极贡献。

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