EUV光刻机

2人关注
极紫外线光刻机是芯片生产工具,是生产大规模集成电路的核心设备,对芯片工艺有着决定性的影响。小于5纳米的芯片晶圆,只能用EUV光刻机生产。2018年4月,中芯国际向阿斯麦下单了一台EUV(极紫外线)光刻机,于2019年初交货。 ...展开
关注标签,获取最新内容

相关推荐

更多 >
×
20
完善资料,
赚取积分