关于磁传感器制造设备的性能分析和应用介绍
描述
超高真空磁控溅射镀膜机
多维科技拥有三台超高真空磁控溅射镀膜机，分别为MDT-1，MDT-2，MDT-3，上图为MDT-1。该套设备能进行8寸晶圆薄膜金属加工，其最薄厚度能至埃米级别，且能镀膜10种不同金属和非金属材料，多达100层金属薄膜，该系统拥有700℃以上的温度能力，是目前国际领先、国内唯一的一台高端设备。
超高磁场真空回火炉
该设备可以用于生产8″/12″晶圆芯片，其超导磁场可以达到5特斯拉，是目前国际领先、国内唯一的一台高端设备。
磁性纳米薄膜刻蚀及制备设备
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