内层线路油墨水平滚涂工业

A无尘室要求  

    无尘室含尘量控制在1万级（每一立方米里面有一万个尘埃），湿度控制在45-
55%，温度控制在.19-21℃，地面必须能抗腐蚀且不导电。

B内层线路油墨的设备    

    全自动电脑控制的热风烘干的涂布线.(WKK代理的systronic系列滚涂线)

    7KW全自动或半自动非平行光曝光机.(志聖、AP-30、美国ORC等机型)

    DES拉要求用2M长的显影缸,不要显影后新药水清洗段,3M长的水洗段,不带烘干
段，3.0M长的褪膜段。(宇宙PCB、TCM等机型)

前处理用磨板机或用化学清洗线(IS、宇宙PCB、TCM等机型)。

C物料

油墨(WKK代理的HTP-120、Shipley公司的SN-50系列油墨)。



    板子必须用除油剂除出铜表面的油污,再用过硫酸钠或研磨(磨痕在10MM)清洁、
粗化铜面,经过酸洗后不但使铜面活化,而且可以确保后面的循环水洗的PH值在7-8之
间,使涂油前的铜面是中性或碱性,使油墨与铜面有更好的附着力，前处理后的板子必
须在1小时内生产完。

涂油

粘尘→涂油墨→四段遂道烘干→两段冷却→收板。

    板子出前处理后，必须经过两级粘尘进入涂油机，当板子进入涂油机后会随着机
器斜制的送板滚轮自动靠设置有涂油感应器的固定边将板子送入涂布轮，板子走进涂
布轮时，感应器感应到板子上的铜面后上涂布轮自动下压，将需要涂油的板子夹在上
下涂布轮之间进行涂油，涂好的板子由烘干段的滚动链条上的夹子夹住送入烘干段，
当板子完成涂油后上涂布轮会自动松开来涂下一块板子。在生产中有灰尘和垃圾由板
子带入油墨中，为了确保没有垃圾和油墨一起涂到板子上，在油墨缸与涂布轮之间加
装5UM的过滤芯循环过滤油墨缸泵到涂布上的油墨。油墨新开缸时用新PMA清洗油膜
缸，待PMA倒出来后用干净的无尘纸抹干净缸里残留的PMA后加入新油墨，搅拌30分钟
后用4号粘度杯来测量粘度在160-200秒(HTP-120油墨)，10号杯测量粘度在40-60秒
(SN-50油墨),当粘度超出控制范围时,用低挥发性的PMA来调整油墨粘度,已经设置好
的粘度感应器会自动添加PMA来稀释油墨,保证粘度在控制范围内.在此粘度时用42TPI
滚轮(1inch内有46条V型刻纹的涂布轮)涂油,干燥后的油墨厚度在8-10UM之间,此厚度
能提供足够的解像度1mil/1mil和抗酸性蚀刻。

干燥

    涂好油的板子由烘干段滚动链条夹子夹住送入烘干段，经过一段PMA挥发、一段
预烘两段固化、两段冷却后完成整个干燥过程；在涂好油的板子入干燥段进行干燥
时，油墨里面的PMA会释出表面挥发，使油墨不能有效的干燥。为了使油墨能有效干
燥，至少提供风量为600M3/Hr，且板面温度不能超过90℃，所以必须提供良好的温度
曲线使油墨在45秒钟内完成干燥。

冷却

    为防止干燥后带高温的板子进入低温的冷却段进行冷却时有水气结于板面应用湿
度为45-55%的空气给板冷却。

收板

    把从冷却后的板子用双手接板,并检查板子两面涂油墨的质量，有无垃圾及其它
品质状况，再把板子叠放在30度角的放板车上，每60块为一叠，叠得太多会压坏油
墨。叠板时不要板子与板子之间产生磨擦，板与板的四边要在同一位置，注意防止油
墨擦花。

曝光

    干燥冷却后的板子可以直接曝光不须静置，用非平行光曝光机进行曝光，因非平
行光曝光机用点光源在曝光时不但可以穿透Mylar、板子上的灰尘，而且还可以克服
位于光阻表层的尘埃，减少线路的缺口或开路。操作条件如下：

设备用5000-7000W非平行曝光机。

曝光能量在75-150mj/m2，用21格曝光尺曝光格数为6格残膜。

抽真空度>650Hg/m3。

曝光太面温度<30℃。

    以上条件操作显影后的线宽线隙能达到1mil/mil，在操作中要特别清洁曝光玻
璃、Mylar上的垃圾，减少不良品产生。

显影

    曝光后的板子必须经过显影把未曝光的油墨用碱性碳酸钠溶液冲走,显影出要求
的图像,因油墨表面没有保护膜,操作时特别要注意擦化问题。建议操作条件如下：

碳酸钠浓度------0.8~1.0%

温度---------------30-35℃

喷压---------------1-2 bar

显影时间---------30-60秒

显影点------------20-50%

蚀刻

适用于一般酸性蚀刻（氯化铜、氯化铁）

褪墨

    经过显影、酸性蚀刻后的板子上的油墨必须除去，露出需要的线路和铜面来作下
工序。建议操作条件如下：

氢痒化钠（钾）浓度------2.5-3.5%

温度---------------------------50-60℃

喷压---------------------------1.5-2.5bar

褪膜点------------------------30-50%

    油墨将以片状剥落,片状的大小与操作温度、溶液浓度等方面有关，在生产中要
添加兑水的消泡剂来稀释褪膜缸中的泡沫。

制程建议

    虽然油墨的DES制程与干膜相似，但是避免干膜与油墨混冲时溶液所含的化学元
素在生产互相反应造成不良品，建议以独立的DES拉来操作液态油墨。

    另外油墨不同于干膜的是，液态油墨没有Mylar的保护，所以在生产中特别小心
（尤其在无尘室内）各操作段擦化等问题。

作者：Mascon高级销售客户服务工程师李光华