Lambda Physik的新型激光管设计用于工作在157nm的氟激光器

　　佛罗里达州FORT LAUDERDALE - Lambda Physik推出了一种专为氟设计的新型激光管(F 2 )157nm激光操作。据该公司称，DuraTube基于该公司的NovaTube技术，这是一种金属/陶瓷设计，几乎可以消除部件腐蚀和气体污染。

　　DuraTube针对气体循环几何和部件进行了优化，增加了F 的气体寿命2 操作。例如，LPF激光器的气体寿命已经以能量恒定模式测量，超过2000万个脉冲，Lambda Physik声称。

　　Lambda Physik表示，F 2 激光技术的这一突破提供了最高的市售气体寿命和可靠性，无需低温气体净化。所有Lambda Physik F 2 激光器，包括LPF，OPTex，NovaLine F600和NovaLine 1000系列，都配备了新的DuraTube。

　　DuraTube装配有特殊的谐振镜配件(除OPTex外，便于镜像交换，并结合高度隔离的光路。所有LPF和NovaLine F2激光器都标配VUV适配器，用于完全隔离光束路径和能量监视器。

　　气体寿命的增加与能量稳定相结合，对于157 nm的F 2 激光加工具有显着的优势，这需要最大的性能，可靠性和效率。 Lambda Physik的F 2 激光器针对157 nm的光学测试或深UV光刻。优化的DuraTube性能使激光系统的正常运行时间显着延长，从而降低了用户的运行成本。