压阻式传感器有哪些

　　有些固体材料在某一轴向受到外力作用时，除了产生变形外，其电阻率ρ也要发生变化，这种由于应力的作用而使材料电阻率发生变化的现象称为压阻效应。半导体材料的压阻效应特别强。利用压阻效应制成的传感器称为压阻式传感器。

　　压阻式传感器是利用半导体材料的压阻效应而制成的一种纯电阻性元件。它主要有三种类型：体型、薄膜型和扩散型。

　　1、体型压阻传感器

　　利用半导体材料电阻制成粘贴式的应变片（半导体应变片），用此应变片制成的传感器称为半导体应变式传感器，其工作原理是基于半导体材料的压阻效应。这是一种将半导体材料硅或锗晶体按一定方向切割成的片状小条，经腐蚀压焊粘贴在基片上而成的应变片，其结构如图。

　　2、薄膜型压阻传感器

　　薄膜型压阻传感器是利用真空沉积技术将半导体材料沉积在带有绝缘层的试件上而制成的，结构如图。

　　3、扩散型压阻传感器

　　扩散型压阻传感器是在半导体材料的基片上利用集成电路工艺制成扩散电阻。将P型杂质扩散到N型硅单晶基底上，形成一层极薄的P型导电层，再通过超声波和热压焊法接上引出线就形成了扩散型半导体应变片。