MEMS/传感技术
ADI公司的ADXRS624是完整的角速度传感器(陀螺仪),采用ADI公司的表面微机械加工工艺。ADXRS624在一块芯片上集成了所有所需的电子组件,功能全面、成本低廉。该器件的制造工艺同高稳定性汽车气囊加速度计一样,都采用大容量BiMOS工艺。输出信号RATEOUT(1B,2A)的电压同垂直于封装顶面的轴向角速度成正比。输出电压与给定的参考电压成比例。SUMJ和RATEOUT之间的外部电阻可用于减小比例因子。一个外部电容用于调整带宽。其他外部电容在运行时使用。温度输出用于提供补偿。两个数字自检测输入通过电机方式激励传感器,从而检测传感器和信号调节电路是否处于正常工作状态。ADXRS624采用7mm×7mm×3mm BGA芯片级封装。
图1 ADXRS624方框图
图2评估板EVAL- ADXRS624电路图
图3评估板EVAL-ADXRS624元件布局图
ADXRS624主要特性:在一个芯片上的完整的速度陀螺仪,Z轴(偏转角速率)响应在宽频率范围内的高振动抑制; 2000g抗冲击能力;与参考电压成比例; 5V单电源工作;工作温度为105℃;对数字指令进行自检测;超小、超轻(《0.15cc、《0.5gram);温度传感器输出满足RoHS标准;满足汽车应用要求ADXRS624应用。
串行测试元件。平台稳定,机器人技术EVAL-ADXRS624 EVAL-ADXRS624是一块简易的评估板,支持对ADXRS624±50°/sec偏转角速度陀螺仪性能的快速评估。EVAL-ADXRS624具有20引脚、双列直插式(0.3英寸宽度×0.1英寸引脚间距)接口,无需BGA焊接,可轻松实现产品设计。
图2显示了EVAL-ADXRS624的框图。正方形方框中显示的数字对应于评估板上的引脚。它同在ADXRS624数据表中所指的应用一致。模拟和电源地(AGND和PGND)在评估板上具有独立的电源层,可以根据应用所需的接地设计进行调节。如果用于需要单个地平面,可将这些节点短路连接。AGND和PGND必须接地,以方便评估板能够正常工作。注意模拟供电电压和电荷泵电源电压(AVCC和VDD)没有被连接到EVAL-ADXRS624,用户可以根据应用连接这些引脚。
图3中显示了EVAL-ADXRS624上的元件布局,表1显示了元件清单。EVAL-ADXRS624的初始带宽被设定为10Hz(COUT=100nF)。用户可以增加外部电容,从而进一步减小带宽并改善本底噪声。
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