中芯国际与ASML光刻机问题解决，开始进入光刻阶段

在半导体工艺进入 10nm 节点之后，制造越来越困难，其中最复杂的一步——光刻需要用到 EUV 光刻机了，而后者目前只有荷兰 ASML 阿斯麦公司才能供应。中芯国际去年也订购了一台 EUV 光刻机，日前该公司表示与 ASML 之间已解决光刻机的问题，EUV 技术研发步入正轨。

前不久有消息称 ASML 停止对中芯国际供应 EUV 光刻机，随后 ASML 公司表示不是停供，而是延期，主要是在准备该国政府的出口申请文本工作。

中芯国际董事长周子学日前在韩国访问，韩媒报道称周子学表态已经解决了与 ASML 之间就光刻机供应存在的问题，强调中芯国际在先进工艺上的研发、生产一直处于稳定的轨道上，与客户及设备供应商之间没有任何问题。

ASML 公司是 EUV 光刻机目前唯一的供应商，今年四季度，ASML 预计交付 8 台 EUV 光刻机，平均每台价格达到了 1.2 亿欧元，折合人民币 9.3 亿元，堪称人类最昂贵的设备了。