智能手机中的MEMS传感器技术解析

MEMS器件，尤其是MEMS传感器已成为智能手机中的标准配置。苹果iPhone和Research in Motion （RIM）的Blackberry Storm等畅销机型，以及三星的Omnia、HTC的Diamond和诺基亚都采用了惯性传感器。不过截止日前部分手机型号已经淘汰停止生产了。

同时，智能手机应用软件日益庞大的生态系统很大程度上要归功于MEMS传感器。事实上，由于智能手机永远在线的互联网访问和传感器技术的不断发展，智能手机正在快速变成地球上最大的无线传感器网络。

智能手机中采用MEMS技术加工的传感器、执行器和光学器件主要如下，如图1所示。

加速度计、陀螺仪、电子罗盘：惯性测量单元（IMU）实现室内导航。加速度计还可以实现自由落体检测、倾斜控制、计步器、手势检测、单击/双击检测、画面翻转等功能。陀螺仪还可以实现图像防抖、增强现实等功能。

压力传感器：提供多层建筑及商场的精确高度数据，推进LBS服务。

硅微麦克风：相比传统的电容式麦克风，硅微麦克风可以采用表贴工艺进行制造，能够承受很高的回流焊温度，容易与CMOS工艺及其它音频电路相集成，并具有改进的噪声消除性能与良好的RF及EMI抑制性能。

MEMS微镜：微投影仪。

CMOS图像传感器、自动对焦执行器：照相机/摄像机。

环境光感测器：应用优势是帮助手机节省显示屏功耗，增加电池的工作时间。最新的光感测器包括了更多功能，如光谱响应与动态范围、集成接近探测，以及数字通信等。

接近传感器、微型显示器：具有触摸灵敏度的显示屏。

MEMS振荡器、RF开关：蜂窝无线模块。
责任编辑；zl