什么是气体流量传感器

MEMS/传感技术

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描述

气体流量传感器能同时显示累积流量、瞬时流量、压力和温度,并具有通讯功能。气体流量传感器对流过传感器的空气、氧气或其他的气体有灵敏和快速的反应,并且在在很小的流量下有较高的准确性,同时具有在大的流量下很好的重复性和很低的滞后性。

气体流量传感器应用广泛,极大的影响着社会各行各业的发展。如工业生产、科学实验、保证产品质量、提高生产效率、节约能源、促进科技的发展等方面起着重要作用。

气体流量传感器的核心是一个加热器和温度敏感器,根据气体流动时所对应的热传递来探测气流的速度和方向,并对流过芯片的空气或其他气体流量有着灵敏和快速的反应。

气体流量传感器按工作原理可分为应变式、压电式、压阻式、电感式、电容式、光电式、电阻、电容、电感、电压、霍尔、光电、光栅、热电偶等气体流量传感器。
责任编辑;zl

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