未来MEMS惯性传感器发展的四个主要方向

MEMS惯性传感器的发展方向

MEMS加速度计是MEMS领域最早开始研究的传感器之一。经过多年的发展MEMS加速度计的设计和加工技术已经日趋成熟。

目前MEMS加速度计的主要发展趋势是高精度、集成化和小型化，大部分采用集成化封装，并在此基础上不断朝着高精度、数字化和高可靠性的方向发展。这主要得益于MEMS加工工艺的快速发展和数字ASIC电路检测能力的不断提升。

MEMS敏感结构采用硅硅键合，敏感结构厚度不断增加，ASIC采用数字化电路，不仅检测能力提高，还可以在后续环路中增加各种补偿环节有利于提高MEMS加速度计的性能。    在惯性测量应用中，通常需要测量空间三个方向的加速度信号。为了保证MEMS加速度计的精度大多采用三个单轴MEMS加速度计立体组装的形式来实现三个方向的加速度信号测量。随着测量设备进一步朝着微型化方向发展，对三轴MEMS加速度计的集成度提出了更高的需求，采用三个单轴MEMS加速度计测量三个方向加速度信号的方案已经不能满足设备小型化的要求。

综上所述，未来MEMS惯性传感器的发展主要有四个方向

1、高精度导航、自动驾驶和个人穿戴设备等对惯性传感器的精度需求逐渐提高，精细化测量需求和智能化的发展也对传感器的精度提出了越来越高的要求。

2、微型化器件的微型化可以实现设备便携性，满足分布式应用要求。微型化是未来智能传感设备的发展趋势，是实现万物互联的基础。

3、高集成度无论是惯性测量单元还是惯性微系统都是为了提高器件的集成度，进而实现在更小的体积内具备更多的测量功能，满足装备小体积、低功耗、多功能的需求。

4、适应性强随着MEMS惯性传感器的应用范围越来越广泛，工作环境也会越来越复杂，例如：高温、高压、大惯量和高冲击等，适应复杂环境能够进一步拓宽MEMS惯性传感器的应用范围。

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