MEMS加速度计的三种类型简介

MEMS加速度计的三种类型简介

随着MEMS技术的发展，惯性传感器目前是最为成功应用最广泛的微机电系统器件之一。而MEMS加速度计就是惯性传感器件的杰出代表。MEMS加速度计的理论基础就是牛顿第二定律根据基本的物理原理，在一个系统内部速度是无法测量的但却可以测量其加速度。

智腾mems加速度计

MEMS加速度计按技术成熟可分为三种形式：压电式、容感式、热感式。

1、压电式MEMS加速度计运用的是压电效应，在其内部有一个刚体支撑的质量块，有运动的情况下质量块会产生压力，刚体产生应变，把加速度转变成电信号输出。

2、容感式MEMS加速度计内部也存在一个质量块，从单个单元来看，它是标准的平板电容器。加速度的变化带动活动质量块的移动从而改变平板电容两极的间距和正对面积，通过测量电容变化量来计算加速度。

3、热感式MEMS加速度计内部没有任何质量块，它的中央有一个加热体，周边是温度传感器，里面是密闭的气腔，工作时在加热体的作用下，气体在内部形成一个热气团，热气团的比重和周围的冷气是有差异的，通过惯性热气团的移动形成的热场变化让感应器感应到加速度值。

由于压电式MEMS加速度计内部有刚体支撑的存在，通常情况下，压电式MEMS加速度计只能感应到“动态”加速度，而不能感应到“静态”加速度，也就是我们所说的重力加速度。而容感式和热感式既能感应“动态”加速度，又能感应“静态”加速度。