MEMS光开关简介

随着光通信网络的快速发展，传统以电为核心的通信器件已经不能满足高速大容量的光通信需求，MEMS光开关由于其体积小，易集成，容量大等特点，已成为全光通信网中的重要器件之一。

MEMS光开关是基于微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System）实现光路切换的器件。其功能如下图所示：

其中MEMS是指将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的可批量制作的微型器件或系统。MEMS光开关原理十分简单，当进行光交换时，通过静电力或磁电力的驱动，移动或改变MEMS微镜的角度，把输入光切换到光开关的不同输出端以实现光路的切换及通断。其原理图如下图所示：

相较于传统的机械光开关，MEMS光开关具有以下优点：

1.体积小，交换容量大

2.MEMS芯片可以成批量生产，故单个成本不高

MEMS光开关在OXC, MCS，光纤线路保护及监控，光纤传感，设备复用保护等方面都有着重要的应用。