浅谈Mems电容式加速度计的种类及结构

Mems电容式加速度计的种类

随着科技发展加速度计从原来大的尺寸逐渐往小型化发展可以应用在各行各业并且在性能上更上一层楼，给人们的生活、科技、住行大大提高了效率和安全。

Mems的加速度计分为六大类：电容式加速度计；压阻式加速度计；压电式加速度计；谐振式加速度计；隧穿式加速度计；热对流式加速度计。

其中电容式加速度计的结构可分为三种结构：

1、跷板摆式加速度计

2、梳齿式硅微机械加速度计

3、三明治摆式电容式加速度计

其中三明治摆式电容加速度计又称为悬臂梁式硅微机械加速度计是一种夹层结构的微机械加速度计，因为极板被夹在固定极板中间形似三明治结构而得名。

该结构相对比较简单，电容式动极板由中间的敏感质量硅摆片的上下俩面电镀的方法制成与相对应的固定极板组成一组差动电容来敏感输入加速度的大小。当质量块手受到加速度上下运动时，电容间距随之变化差动电容大小发生改变，理论推导可知差动电容大小和加速度在质量块位移较小的情况下形成差不多线性比例关系。

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