Mems电容式加速度计的种类（三）

Mems电容式加速度计的种类（三）

随着科技发展加速度计从原来大的尺寸逐渐往小型化发展可以应用在各行各业并且在性能上更上一层楼，给人们的生活、科技、住行大大提高了效率和安全。

Mems的加速度计分为六大类：电容式加速度计；压阻式加速度计；压电式加速度计；谐振式加速度计；隧穿式加速度计；热对流式加速度计。

其中电容式加速度计的结构可分为三种结构：

1、跷板摆式加速度计

2、梳齿式硅微机械加速度计

3、三明治摆式电容式加速度计

跷板摆式电容式加速度计又称扭摆式硅微加速度计因为其敏感质量绕着弹性梁扭转形似跷板而得名。其典型代表是美国一家实验室与1990年研制的微机械加速度计其敏感质量与下面的玻璃基片之间形成差动检测电容，由于质量片分别位于承扭梁俩边的质量和惯性矩不相等，所以当存在垂直于质量片的加速度计输入时质量片将绕着支撑梁旋转从而使相对应的一对差电容一个增大一个见小，测量差动电容值可得到沿着敏感轴输入的加速度。

fqj