Mems电容式加速度计的种类（二）

Mems电容式加速度计的种类（二）

随着科技发展加速度计从原来大的尺寸逐渐往小型化发展可以应用在各行各业并且在性能上更上一层楼，给人们的生活、科技、住行大大提高了效率和安全。

Mems的加速度计分为六大类：电容式加速度计；压阻式加速度计；压电式加速度计；谐振式加速度计；隧穿式加速度计；热对流式加速度计。

其中电容式加速度计的结构可分为三种结构：

1、跷板摆式加速度计

2、梳齿式硅微机械加速度计

3、三明治摆式电容式加速度计

其中梳齿式电容式加速度计简称 FMSA。因为活动电极形似梳齿而得名，又称叉指式电容式加速度计。是微加速度计典型的一种结构，梳齿式加速度计具有灵敏度高、温度稳定性好、结构相对简单、功耗比较低、直流特性好等特点，但是容易受到电磁干扰、该类型的加速度计可以通过把若干极板面积较小的电容并联起来形成相对较大的电容以提高分辨率，而且可以制作反馈结构实现闭环控制利于精度的提高。

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