MEMS加速度计性能测评

本文介绍了微机电系统(MEMS)加速度计的多项特性，它们使得该技术对状态监控应用极具吸引力。本文通过回顾一些数据来说明MEMS技术的发展状况及性能水平，并将其与商用压电(PZT)状态监控加速度计进行比较。

对MEMS工艺技术的投资加上设计创新，已大大改善MEMS性能，使得MEMS足以成为更广泛状态监控应用的可行选择。采用专门化MEMS结构和工艺技术，现在已实现谐振频率高达50 kHz、噪声密度低至25 ­g/‑Hz的加速度计。通过精心设计的信号调理电子电路，可以充分发挥此类新型加速度计的低噪声优势。

SiA202   | 参数	备注	单位	最小值	典型值	最大值
量程		g	±2
非线性	IEEE   Norm , %全量程	%		0.3	1.0
频率响应	-3dB	Hz	200
谐振频率	过阻尼	kHz		1.4
振动整流误差	均值频率   [50Hz , 2kHz]	µg/g2		1300
噪声	频带内	µg/√Hz		7
分辨率	@1Hz	µg rms		7
启动响应时间	工作延时运动一次	µs		40
偏值（K0）温度系数	测定范围[-40℃， 85℃]	µg/℃		75
综合偏值（K0）误差	温度范围[-40℃， 85℃]	mg		0.14
标度因数（K1）温度系数	测定范围[-40℃， 85℃]	ppm/℃	20	120	220
综合标度因数（K1）	温度范围[-40℃， 85℃]	mV/g	1330	1350	1370
温度传感输出电压@20℃		V	1.20	1.23	1.26
温度传感灵敏度		mV/℃		-4.0
复位阈值电压	低电平有效	%VDD			20
工作电压		V	3.2	3.3	3.4
工作电流		mA		2.3	4