MEMS加速度计性能测评

微电子小智 2020-04-09 1360

今日头条

1095人已加入

描述

本文介绍了微机电系统(MEMS)加速度计的多项特性，它们使得该技术对状态监控应用极具吸引力。本文通过回顾一些数据来说明MEMS技术的发展状况及性能水平，并将其与商用压电(PZT)状态监控加速度计进行比较。

对MEMS工艺技术的投资加上设计创新，已大大改善MEMS性能，使得MEMS足以成为更广泛状态监控应用的可行选择。采用专门化MEMS结构和工艺技术，现在已实现谐振频率高达50 kHz、噪声密度低至25 ­g/‑Hz的加速度计。通过精心设计的信号调理电子电路，可以充分发挥此类新型加速度计的低噪声优势。

SiA202   | 参数 备注 单位 最小值  典型值 最大值
量程   g ±2    
非线性 IEEE   Norm , %全量程 %   0.3 1.0
频率响应 -3dB Hz 200    
谐振频率 过阻尼 kHz   1.4  
振动整流误差 均值频率   [50Hz , 2kHz] µg/g2   1300  
噪声 频带内 µg/√Hz   7  
分辨率 @1Hz µg rms   7  
启动响应时间 工作延时运动一次 µs   40  
偏值（K0）温度系数 测定范围[-40℃， 85℃] µg/℃   75  
综合偏值（K0）误差 温度范围[-40℃， 85℃] mg   0.14  
标度因数（K1）温度系数 测定范围[-40℃， 85℃] ppm/℃ 20 120 220
综合标度因数（K1） 温度范围[-40℃， 85℃] mV/g 1330 1350 1370
温度传感输出电压@20℃   V 1.20 1.23 1.26
温度传感灵敏度   mV/℃   -4.0  
复位阈值电压 低电平有效 %VDD     20
工作电压   V 3.2 3.3 3.4
工作电流   mA   2.3 4

打开APP阅读更多精彩内容
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。 举报投诉
评论(0)
发评论
qdznkj1815 2022-08-22
0 回复 举报
http://house.china.com.cn/sousou/%25C9%25CF%25B7%25D6%252C%2B%25C3%25E5%25B5%25E9%25B9%25FB%25B2%25A9%25B6%25AB%25B7%25BD%25D3%25E9%25C0%25D6B2024.cN_62s.htm http://house.china.com.cn/sousou/%25D4%25DA%25CF%25DF%252C%2B%25C3%25E5%25B5%25E9%25B0%25EB%25C9%25BD%25BC%25AF%25CD%25C5%25B6%25B7%25C5%25A3B2024.cN_80s.htm http://house.china.com.cn/sousou/%25C0%25CF%25BD%25D6%252C%2B%25C3%25E5%25B5%25E9%25D3%25F1%25CF%25E9%25D3%25E9%25C0%25D6B2024.cN%252C%25BB%25B3%25BB%25AF%25B8%25DF%25D0%25A3_2s.htm http://house.china.com.cn/sousou/%25C9%25CF%25B7%25D6%252C%2B%25C3%25E5%25B5%25E9%25C3%25E5%25B1%25B1%25D3%25E9%25C0%25D6B2024.cN_52s.htm http://house.china.com.cn/sousou/%25C9%25CF%25CF%25C2%25B7%25D6%252C%2B%25C3%25E5%25B5%25E9%25BB%25AA%25C4%25C9%25D3%25E9%25C0%25D6%25B9%25AB%25CB%25BEB2024.cN%252C%25B8%25A3%25D6%25DD%25CE%25C0%25C9%25FA%25BE%25D6_2s.htm 收起回复

全部0条评论

快来发表一下你的评论吧 !

下载APP
|投诉反馈|电子发烧友网
© 2021 elecfans.com
湘ICP备2023018690号
×
20
完善资料，
赚取积分