MEMS加速度计性能测评

微电子小智 2020-04-09 1558

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本文介绍了微机电系统(MEMS)加速度计的多项特性，它们使得该技术对状态监控应用极具吸引力。本文通过回顾一些数据来说明MEMS技术的发展状况及性能水平，并将其与商用压电(PZT)状态监控加速度计进行比较。

对MEMS工艺技术的投资加上设计创新，已大大改善MEMS性能，使得MEMS足以成为更广泛状态监控应用的可行选择。采用专门化MEMS结构和工艺技术，现在已实现谐振频率高达50 kHz、噪声密度低至25 ­g/‑Hz的加速度计。通过精心设计的信号调理电子电路，可以充分发挥此类新型加速度计的低噪声优势。

SiA202   | 参数 备注 单位 最小值  典型值 最大值
量程   g ±2    
非线性 IEEE   Norm , %全量程 %   0.3 1.0
频率响应 -3dB Hz 200    
谐振频率 过阻尼 kHz   1.4  
振动整流误差 均值频率   [50Hz , 2kHz] µg/g2   1300  
噪声 频带内 µg/√Hz   7  
分辨率 @1Hz µg rms   7  
启动响应时间 工作延时运动一次 µs   40  
偏值（K0）温度系数 测定范围[-40℃， 85℃] µg/℃   75  
综合偏值（K0）误差 温度范围[-40℃， 85℃] mg   0.14  
标度因数（K1）温度系数 测定范围[-40℃， 85℃] ppm/℃ 20 120 220
综合标度因数（K1） 温度范围[-40℃， 85℃] mV/g 1330 1350 1370
温度传感输出电压@20℃   V 1.20 1.23 1.26
温度传感灵敏度   mV/℃   -4.0  
复位阈值电压 低电平有效 %VDD     20
工作电压   V 3.2 3.3 3.4
工作电流   mA   2.3 4

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qdznkj1815 2022-08-22
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