MEMS电容式加速度计的工作原理是怎么样的

MEMS传感器即微机电系统是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域，与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。其中MEMS加速度传感器被现在广泛应用在各个有着需要运动的领域中。

因为一个国家的航天发展程度反映着该国的科技的整体水平，所以随着航天科技的飞速发展传感器的小型化、多功能、机动性、高性能的也随之提高，所以人们对传感器在航天领域的要求更为苛刻和重要例如航天惯性传感器在体积、重量、性能方面的要求很高。在这中情况下MEMS加速度计随之研发出来，因为小型化、高性能、高可靠性、准确性、稳定性被应用在航天、军事等重要领域。

那么MEMS电容式加速度计的工作原理是什么呢？

MEMS电容式加速度计具有高精度、低温度敏感系数、低功耗、宽动态范围、微机械结构优等优点成为目前国内外研究的热点。因为有着很好的直流响应、较好的信噪比、负载阻抗高、受磁场干扰小、易自检、高灵敏度、低温漂等在低频响方面可以响应静态或者直流加速度，因为被广泛应用。

其基工作原理就是将电容作为检测接口，来检测由于惯性力作用导致惯性质量块发生的微位移。质量块由弹性微梁支撑连接在基体上，检测电容的一个极板一般配置在运动的质量块上一个极板配置在固定的基体上，能够利用静电力实现反馈闭环控制，显著提高传感器的性能。

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