MEMS加速度计有哪些类型，工作原理是什么

MEMS加速度计有哪些类型？

MEMS加速度计以集成电路工艺和微机械加工工艺为基础，将电子原件和机械原件集成在一块芯片上，具有体积小、质量轻、成本低、能耗低、集成度高等一系列的优点，微加速度计的种类较多主要如下：

1、角振动加速度计、线振动加速度计

2、扭摆式加速度计、悬臂梁式加速度计、弹簧支撑式加速度计

3、电容式加速度计、电阻式加速度计、谐振式加速度计、热流式加速度计、隧道电流式加速度计

4、开环式加速度计、闭环式加速度计

5、单轴微机械加速度计、双轴微机械加速度计i、三轴微机械加速度计

其中电容式MEMS加速度计的敏感元件为固定电极和可动电极之间的电容器，是目前研究最为广泛的一类加速度传感器，一般采用悬臂梁、固支梁或挠性轴结构，支撑一个当作电容动板电极的质量块，质量块与一个固定极板构成一个平板电容。

其工作原理是在外部加速度作用下，校验质量块产生位移这样就会改变质量块和电极之间的电容，将这种变化量用外围电路检测出来就可测量加速度的大小。

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