霍尔压力传感器

MEMS/传感技术

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描述

霍尔压力传感器

霍尔压力传感器由弹性元件,磁系统和霍尔元件等部分组成,如图29 所示。在图29 中,(a)的弹性元件为膜盒,(b)为弹簧片,(c)为波纹管。磁系统最好用能构成均匀梯度磁场的复合系统,如图29 中的(a)、(b),也可采用单一磁体,如(c)。加上压力后,使磁系统和霍尔元件间产生相对位移,改变作用到霍尔元件上的磁场,从而改变它的输出电压VH。由事先校准的p~f(VH)曲线即可得到被测压力p 的值。

图29 几种霍尔压力传感器的构成原理

霍尔应力检测装置


图30 示出用来进行土壤和砂子与钢界面上的法向和切向应力检测的霍尔传感器装置。(a)检测向切应力,(b)检测压应力。箭头所指是施加的外力方向。在图30(a)中,仪器上用钢作成上下两个块子,它们之间有两条较细的梁支撑,在钢下块上置一销柱,销上贴两对永磁体,形成均匀梯度磁场,在上块上贴两个霍尔传感器,受剪切力作用后,支撑梁发生形变,使霍尔传感器和磁场间发生位移,使传感器输出发生变化。由霍尔传感器的输出可从事先校准的曲线上查得与该装置相接的砂或土受到的剪切应力。

霍尔传感器

图30(b)的磁体固定在受力后产生形变的膜片上,霍尔传感器固定在一杆上。检测原理同上。应用检测压应力的原理,可构成检测重量的装置,称作霍尔称重传感器。

扩展阅读: 霍尔元件及其应用

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