霍尔加速度传感器
MEMS/传感技术
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霍尔加速度传感器
图31 示出霍尔加速度传感器的结构原理和静态特性曲线。在盒体的O 点上固定均质弹簧片S,片S 的中部U处装一惯性块M，片S 的末端b 处固定测量位移的霍尔元件H，H 的上下方装上一对永磁体，它们同极性相对安装。盒体固定在被测对象上，当它们与被测对象一起作垂直向上的加速运动时，惯性块在惯性力的作用下使霍尔元件H 产生一个相对盒体的位移，产生霍尔电压VH 的变化。可从VH 与加速度的关系曲线上求得加速度。
图31 霍尔加速度传感器的结构及其静态特性
扩展阅读: 霍尔元件及其应用
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