MPX扩散硅压阻式传感器

传感器实验

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描述

实验 MPX扩散硅压阻式传感器

实验原理:
MPX 压阻式传感器芯片是用集成工艺技术在硅片上制造出四个呈X 型的等值电阻组成的电路,它用激光修正,温度补偿,所以线性好,灵敏度高,重复性好,其工作原理及实验接线如图(9)

本实验中所用的压阻式传感器为差压式,无外加压力时电路平衡无输出,受压时则输出与压力大小成正比的电压信号。
实验所需部件:
MPX 压力传感器、应变式传感器实验模块、气压源、胶管、电压表

实验步骤:
1、连接主机与实验模块的电源线及探头连接线,胶管连接气压源输出与压力传感器输入口(传感器另一接口空置感受大气压力)。差动放大器增益最大。
2、开启主机电源,调节电桥WD调平衡电位器,使实验模块输出为零,开启气源开关,逐步加大气压,观察随气压上升模块电压输出的变化情况。
3、待到气压相对稳定后,调节模块增益使输出电压值与气压值成一比例关系,并记录P(kp)值与Vmv 值。
4、关闭气源,随着气压逐步下降,输出电压也发生变化,记录P-V 值并填入下表:

在坐标上作出V-P曲线,验证传感器的线性度与灵敏度。
5、气压源因功率限制输出≤20kp,亦可用随机附带的手工加压气囊代替气源,使传感器工作范围扩大到压力表满量程显示。
注意事项:
气源平时应关闭,以免影响其它电路工作,胶管尽量避免油污,以免造成老化破损。

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