真空度测试仪的原理及参数

测试原理

将灭弧室的两触头拉开一定的开距，施加脉冲高压，将电磁线圈环绕于灭弧室的外侧，向线圈通以大电流，从而在灭弧室内产生与高压同步的脉冲磁场，这样在脉冲磁场的作用下，灭弧室中的电子做螺旋运动，并与残余气体分子发生碰撞电离，所产生的离子电流与残余气体密度即真空度近似成比例关系。对于不同的真空管，在同等真空度条件下，离子电流的大小也不相同，当测知离子电流后，通过离子电流一真空度曲线，由计算机自动完成真空度的计算，并显示真空度值。

◆漏电电流的处理

对处于分断状态的真空灭弧室两端加高压时，会有数值不等的几个微安的漏电电流，此漏电电流即使是同型号的真空灭弧室也有较大的个体差异。尤其是对于装在整机上的真空灭弧室，由于其周边的绝缘支撑件也有漏电，这些漏电的总和有更大的不稳定性和不可预测性，并且在数值上与10-4Pa数量级的真空灭弧室的电离电流相当。我们采用两次起动高压的方法，扣除了漏电电流，保证了无论是装于整机上还是待装的真空灭弧室的真空计量精度。

◆内置多条真空灭弧室的测量曲线

真空灭弧室由于其几何尺寸、材料的不同，当内部真空度和外加激励电源一定时，其放电电荷量是不同的，并且有相当的差异。为准确测量，对每一种真空灭弧室必须有对应的从电离电荷量到真空度的推算曲线。我厂 的专家通过与国内主要真空灭弧室生产厂家的密切合作，取得了很多真空灭弧室的电离电荷和真空度关系的数据，通过数学处理，将其特征参数送入产品。因此，产品内置了很多真空灭弧室的测量曲线。

◆完善的输入保护电路

当真空灭弧室的真空度非常低时，测量时真空灭弧室会被高压击穿，瞬间的高压直接加至信号输入端的采样电路上，使其承受十分强的电冲击。信号输入端的采样电路增加了完备的保护电路，即使仪器由于输入端的高压冲击而发生暂时工作不正常时（重新开机即可），也不会造成电路部分的损坏。

技术参数：

1. 真空度测量范围： 1×10-1～1×10-5

2. 测 量 误 差： ＜10%

3. 测 量 分 辨 率： 10-5pa

4. 允许环境温度： -20℃～50℃

5. 空 气 湿 度： ≤80%RH

6. 电 源： AC，220V，50Hz±10%

7. 外 型 尺 寸： 420×290×210（mm）

8. 重 量： 8kg
       责任编辑：wv