《涨知识啦9-边缘终端》---场板

《涨知识啦9-边缘终端》---场板

本周《涨知识啦》给大家带来的是边缘终端的系列内容第二讲，上一讲我们介绍了正斜角的概念，它可以改善边缘电场，起到提高击穿电压的作用，这一讲我们将要介绍的是另外一种调控平面电场的方法—场板。工艺生产中，当向半导体中扩散杂质的时候，总是会形成如上图所示的结，结边界从内部逐渐收向器件表面，此时图中被标记的位置将会形成球面结，电场线密集，器件很容易在该位置击穿。

为改善平面结边缘电场集中的问题，引入了场板的概念，如上图所示，在平面结界面上方覆盖一层氧化层与金属电极形成场板结构，当金属电极施加负偏压时，在MOS结构的作用下，平面结附近的电子将会被耗尽，拓宽了耗尽区的尺寸（虚线C），从而减小了平面结表面电场。为简化制备工艺，可将场板金属与P+电极金属连为一体，同样可实现上述目的（如下图）。

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