中空式激光合束压电偏摆台

P54系列是中心通孔二维θxθy轴压电偏摆台，采用无摩擦柔性铰链结构设计，响应速度快、闭环定位精度高，80×80mm中心大透空孔方便集成于显微及扫描等光学系统中。

特点   

• θx,θy偏摆运动  • 开环/闭环可选择  • 80×80mm大通孔  • 分辨率高  • 外形薄  • 适于加速度/角速度传感器标定

θx,θy轴偏摆   

应用实例   

P54系列压电偏摆台以其超薄的外形、高精度的偏转已批量应用于军事激光武器等领域。

闭环传感精度高   

P54系列压电偏转台内部柔性铰链导向机构采用有限元分析优化，使角度偏移达到最小，无空回、无摩擦。采用压电陶瓷驱动实现最大偏转范围±1mrad，分辨率高达0.05μrad，可选择配置闭环传感器实现0.1%F.S.的重复定位精度。台体非常薄，厚度仅为20mm，中心通孔尺寸为80×80mm，P54压电偏转台是亚微弧度精密光束调整、计量、定位等应用的最佳选择。

负载大镜片   

P54压电偏转台中心大通光孔达80×80mm，非常适用于需要透射光的应用，负载后仍可高动态高精度的扫描。

频率负载曲线   

典型应用   

• 光束扫描  • 激光合束对准与激光致盲 • 干涉 / 计量  • 空间扰动模拟系统 • 微操作  • 掩模与晶片位置调整

开环曲线   

阶跃时间   

重复定位精度   

推荐控制器   

技术参数   

注：以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。驱动电压范围可在 -20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。lw