MEMS加速度计工作原理介绍

 加速度计原理

1.1 加速度计由MEMS传感器与信号处理芯片组成。

1.2 MEMS加速度计工作原理

由上电容、中电容板(可移动)、下电容板等组成；当加速度达到一定值后，中电容板会移动，与上、下电容板的距离就会变化，上、下电容因此变化。电容变化跟加速度成比(如下面公式)，通过对输出电压数字处理后，输出数字化信号。

如图：

公式：(1) Vs = ( (Cs1-Cs2)/(Cs1+Cs2) ) * Vm   ;输出电压为电容电压变化部分；vm(输入电压)

(2) 由容的定义可得出电容的大小与位移之间的关系：