MEMS传感器的特点与应用

　　在微电子技术高速发展的浪潮中，MEMS传感器的应用也广泛起来。例如气体成分检测、3D定位技术、特殊环境的参数监测等应用。

　　MEMS是微型电子机械系统，MEMS传感器采用微机械加工技术制造的新型传感器，属于MEMS器件的重要分支。

　　依赖MEMS技术传感器的技术特点

　　1、微型化 ，其芯片尺寸基本为纳米与微米级别。

　　2、多样化，主要在其工艺、应用领域及材料方面多样化。

　　3、集成化，在功能、敏感方向不同的多个传感器集成形成阵列与系统。

　　4、批量化，适合大批量生产，成本不高。

　　5、尺寸相应现象，由于尺寸缩小也会有些影响，如尺寸效应、微摩擦学、微构造学、微热力学等。

　　一些典型的MEMS传感器

　　1、MEMS压力传感器。其发展迅速，应用广泛。基本上它的敏感元件为硅膜片，根据机理不同可将MEMS压力传感器分为三种形式，分别是压阻式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器。

　　2、MEMS加速度传感器。根据原理可分压阻式、压电式、电容式、热电偶式、光波导式等MEMS加速度传感器，可应用最为广泛的还属于电容式加速度传感器。

　　3、MEMS陀螺仪。利用科里奥效应测量运动物体的角速度，根据科里奥效应，在三维直角坐标中，物体沿X轴正方向运动且施加角旋转速率物体就会收到Y轴负方向的力，最后可根据电容感应结构可测量出科里奥效应产生的物理位移。其有微型化、高性能、易于制造等优点，广泛应用于医疗仪器、消费电子等领域。