音圈电机在光刻机掩模台系统中的应用

作为芯片制造的核心设备之一，光刻机对芯片生产的工艺有着决定性影响。

据悉，光刻机按照用途可分为生产芯片的光刻机、封装芯片的光刻机以及用于LED制造领域的投影光刻机。其中，生产芯片的High End光刻机是中国在半导体设备制造上的大短板。

生产芯片的光刻机又根据工艺分为High End光刻机和Medium and low end光刻机，虽然在High End光刻机上被荷兰的阿斯麦所垄断，但在Medium and low end光刻机方面中国的技术已经较为成熟，且不断在向High End光刻机突破。

那音圈电机在光刻机中具体作用是什么？音圈电机主要用于光刻机掩模台系统，在该系统中音圈电机运动工况分为扫描运动和定位运动，其中扫描运动主要完成硅片曝光处理，该运动对定位精度以及速度稳定性有非常高的要求，在稳定基础上追求时间的优化。音圈电机系统具有较低的阻尼比，是光刻机很重要的要件。

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