MEMS技术制作的新一代硅腔滤波器芯片

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美泰电子科技有限公司是中国MEMS行业协会理事长单位。专门致力于MEMS(微电子机械系统)器件与系统的研发、生产和销售。是国内最大的MEMS高端核心芯片、器件和系统产品供应商,中国MEMS技术领导者。主要产品有MEMS惯性器件与系统、MEMS测试测量传感器、MEMS压力传感器芯片、汽车MEMS传感器、射频(RF)MEMS器件、光MEMS器件等。

公司拥有国际先进水平的6英寸MEMS工艺线和世界领先的产品测试标定设备,是国家高新技术企业、科技部重大科学仪器专项资助单位。

RF MEMS 器件

全球首家推出采用高精度微纳立体加工、硅圆片直接键合、TSV(硅通孔)等MEMS技术制作的新一代硅腔滤波器芯片,拥有超小体积与重量、多层全屏蔽、抗干扰卓越的微波性能,低损耗、高抑制、为微波毫米波系统小型化提供了新选择。产品频率范围覆盖2~50GHz,具有带通、带阻、窄带、宽带、超宽带多个系列。广泛应用于雷达、微波通讯、电子系统等领域。

1、MEMS 环行器

特点

硅腔体结构,体积超小

高功率容量

50Ω微带共面波导输出,键合使用

频率:12~40GHz

MEMS工艺,精度高,一致性好

可按要求加工定制

环境参数

工作温度:-55~+85°C

储存温度:-55~+125°C

典型应用

雷达、航天航空、微波通信

2、MEMS 隔离器

特点:

硅腔体结构,体积超小

高功率容量

50Ω微带/共面波导输出,键合使用

频率:12~40GHz

MEMS工艺,精度高,一致性好

可按要求加工定制

环境参数

工作温度:-55+85°C

储存温度:-55+125°C

典型应用

雷达、航天航空,微波通信

3、MEMS 硅腔滤波器

特点:

硅基MEMS工艺,体积小、重量轻

频率:2~50GHz

高性能、全屏廠、抗干扰、微波性能好

裸芯片,50Ω共面波导输出,键合使用

带通、带阻、低通、高通

指标一致性好,适合批产

环境参数

工作温度:-55~+85°C

贮存温度:-55~+125°C

平均功率:≤3W(连续波)

典型应用

雷达、航天航空,电子系统

4、微集成 LC 滤波器

特点:

硅基MEMS微纳米技术

命体积小、成本低

加厚介质膜工艺,防静电能力强、可靠性高

可键合、表贴使用,满足用户不同安装要求

加工周期短,部分取代LTCC产品

较MMIC产品有更高Q值

环境参数

工作温度:-55~+85°C

贮存温度:-55~+125°C

平均功率:1Wmax@25°C

电性能规范

中心频率:0.5-20GHz

健合型微集成LC法

1db分数带宽:10-100%

VSWR: 16.1 :1

特性阻抗:50Ω
       责任编辑:pj

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