MEMS技术制作的新一代硅腔滤波器芯片

美泰电子科技有限公司是中国MEMS行业协会理事长单位。专门致力于MEMS（微电子机械系统）器件与系统的研发、生产和销售。是国内最大的MEMS高端核心芯片、器件和系统产品供应商，中国MEMS技术领导者。主要产品有MEMS惯性器件与系统、MEMS测试测量传感器、MEMS压力传感器芯片、汽车MEMS传感器、射频（RF）MEMS器件、光MEMS器件等。

公司拥有国际先进水平的6英寸MEMS工艺线和世界领先的产品测试标定设备，是国家高新技术企业、科技部重大科学仪器专项资助单位。

RF MEMS 器件

全球首家推出采用高精度微纳立体加工、硅圆片直接键合、TSV（硅通孔）等MEMS技术制作的新一代硅腔滤波器芯片，拥有超小体积与重量、多层全屏蔽、抗干扰卓越的微波性能，低损耗、高抑制、为微波毫米波系统小型化提供了新选择。产品频率范围覆盖2~50GHz，具有带通、带阻、窄带、宽带、超宽带多个系列。广泛应用于雷达、微波通讯、电子系统等领域。

1、MEMS 环行器

特点

硅腔体结构，体积超小

高功率容量

50Ω微带共面波导输出，键合使用

频率：12~40GHz

MEMS工艺，精度高，一致性好

可按要求加工定制

环境参数

工作温度：-55~+85°C

储存温度：-55~+125°C

典型应用

雷达、航天航空、微波通信

2、MEMS 隔离器

特点：

硅腔体结构，体积超小

高功率容量

50Ω微带/共面波导输出，键合使用

频率：12～40GHz

MEMS工艺，精度高，一致性好

可按要求加工定制

环境参数

工作温度：-55+85°C

储存温度：-55+125°C

典型应用

雷达、航天航空，微波通信

3、MEMS 硅腔滤波器

特点：

硅基MEMS工艺，体积小、重量轻

频率：2～50GHz

高性能、全屏廠、抗干扰、微波性能好

裸芯片，50Ω共面波导输出，键合使用

带通、带阻、低通、高通

指标一致性好，适合批产

环境参数

工作温度：-55~+85°C

贮存温度：-55～+125°C

平均功率：≤3W（连续波）

典型应用

雷达、航天航空，电子系统

4、微集成 LC 滤波器

特点：

硅基MEMS微纳米技术

命体积小、成本低

加厚介质膜工艺，防静电能力强、可靠性高

可键合、表贴使用，满足用户不同安装要求

加工周期短，部分取代LTCC产品

较MMIC产品有更高Q值

环境参数

工作温度：-55～+85°C

贮存温度：-55～+125°C

平均功率：1Wmax@25°C

电性能规范

中心频率：0.5-20GHz

健合型微集成LC法

1db分数带宽：10-100%

VSWR： 16.1 ：1

特性阻抗：50Ω
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