XD302系列超小体积压电偏转镜的应用及参数

XD302系列为开环式二维θX、θY运动的压电偏转镜，是专为高动态应用而设计，空载谐振频率高达15kHz，且体积小巧，适于空间受限的应用。

特点：二维偏转运动；体积紧凑开环，高分辨率；适于高动态应用。

应用：XD302系列小体积压电偏转镜适于激光加工快速扫描、激光光路稳定等各种光路调节等。

XD302系列二维压电偏转镜，具有XD302-D1与XD302-D2两种型号，两种型号的位移分别为3mrad、1.5mrad，两个版本的空载谐振频率都高达15kHz。并且，它们的体积非常紧凑，外径仅15.6mm，高分别为30mm、21mm。

XD302-D1技术参数

型号：XD302-D1；运动方向：θx、θy；标称行程范围（0~120V）：3或±1.5mrad；开环分辨率：0.03μrad；空载谐振频率：15 kHz；带载谐振频率（φ12.5×3mm镜片）：10 kHz；静电容量：1.6μF/轴；材料：钛合金、钢；质量：30g；驱动控制：三路驱动（含1路恒压）；外径/高：15.6/30mm。

XD302-D2技术参数

型号：XD302-D2；标称行程范围（0~120V）：1.5或±0.75mrad；开环分辨率：0.02μrad；空载谐振频率：15 kHz；带载谐振频率（φ12.5×3mm镜片)：10 kHz；静电容量：0.7μF/轴；材料：钛合金、钢；质量：20g；驱动控制：三路驱动（含1路恒压）；外径/高：15.6/21mm。

偏转角度与驱动电压曲线

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