P77.D9压电式移相器的特点以及应用分析

P77系列压电移相器是专为光学检测移相应用而设计，行程范围可达 50µm，负载能力可高达10kg。P77.D9为P77系列中的一款，它的中心通孔为φ140mm，移相行程可达32μm，分辨率达0.5nm，适用于各种光学镜片、镜头等测量的卧式激光干涉仪，卧式承载达5kg。

芯明天压电移相器以定制设计为主，依据客户的设备应用，量身定制。

特点：行程范围：0~16/32μm，通孔直径：Φ140mm，卧式承载：5kg，可定制。

应用：显微成像，表面检测，移相/干涉/计量，精密定位，移相器，光学捕获。

10V步进电压与位移曲线

P77.D9压电移相器是专为卧式激光干涉仪而设计，带载大口径镜架等，亚纳米级步进移相，为光学检测设备提供高精密的核心组件，显著提高光学检测的精度。

技术参数：

运动自由度：Z轴；标称行程范围（0~120V）：12.8或25.6μm；行程范围（0~150V）：16或32μm；通孔尺寸：φ140mm；外形尺寸：210×210×56mm；分辨率：0.5nm；俯仰/偏航/滚动：<15μm；空载谐振频率：200Hz；卧式承载能力：5kg；静电容量：14.4或28.8μF；材质：钢、铝；重量：4.2kg；工作温度范围：-20~80℃；控制：1或2路控制；连接器：LEMO；出线长：1.5m。

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