极低温、强磁场二维扫描压电纳米定位平台的介绍

近年来，在极端环境下研究纳米尺度下的物理学与材料学已成为学术研究的热点。在极低温、强磁场下，依据原子力、磁力等可从物质结构、物理特性、温度、磁场、电学、光学、微波等多个物理维度实现对样品性能的表征。它的应用非常广泛，例如研究超导材料、二维材料、拓扑绝缘体等。

XD103系列压电纳米定位台是专为极低温、强磁场环境而研发设计，采用低温压电驱动，外壳采用轻型材料。XD103为XY二维扫描运动，它的体积小巧，尺寸仅33×33×15mm，中心具有10×10mm通孔。所有组件均采用低温强磁兼容版本，以保证其在低温强磁下的性能。

特点：耐低温可达 4K；耐强磁；4K温度下位移达10μm@150V；分辨率可达0.5nm；开环驱动，快速响应；耐真空度达10^-4mbar；耐磁场达3T。

室温电压与位移曲线

技术参数：

型号：XD103；运动方向：X、Y；常温标称行程：100μm@60V；4K温度下行程：10μm@150V；常温分辨率：1nm；4K温度下分辨率：0.5nm；空载谐振频率：>350Hz；带载150g谐频：>120Hz；常温静电容量：5.4μF/轴；4K温度下静电容量：0.75μF/轴；材料：钛合金、铝；承载：≤150g。

fqj